Karbon tetraflorür
Karbon tetraflorür veya R-14 olarak da bilinen tetraflorometan, en basit perflorokarbondur (CF4). IUPAC adından da anlaşılacağı gibi, tetraflorometan, hidrokarbon metanın perflorlanmış karşılığıdır. Tetraflorometan kullanışlı bir soğutucudur, lâkin aynı zamanda da güçlü bir sera gazıdır.[1]
Tetraflorometan, karbonun kendisi de dâhil olmak üzere herhangi bir karbon bileşiğinin bir flor atmosferinde yakılmasıyla elde edilen üründür. Hidrokarbonlarla, hidrojen florürün bir yan üründür. İlk kez 1926'da üretildiği bildirildi.[2]
Tetraflorometan bazen düşük sıcaklıkta soğutucu (R-14) olarak kullanılır. Elektronik mikro fabrikasyonda tek başına veya silisyum, silisyum dioksit ve silisyum nitrür için bir plazma dağlayıcı olarak oksijenle kombinasyon hâlinde kullanılır.[3]
Kaynakça
- ^ Siegemund, Günter; Schwertfeger, Werner; Feiring, Andrew; Smart, Bruce; Behr, Fred; Vogel, Herward; McKusick, Blaine (2002). "Fluorine Compounds, Organic". Ullmann's Encyclopedia of Industrial Chemistry
- ^ Greenwood & Earnshaw
- ^ K. Williams, K. Gupta, M. Wasilik. Etch Rates for Micromachining Processing – Part II J. Microelectromech. Syst., vol. 12, pp. 761–777, December 2003.
